洁净室（Cleanroom）是半导体、制药、FPD、精密制造的核心场所。Class 1-10000级的洁净环境要求门体完全气密、无尘脱落、智能联动。磁悬浮门以零摩擦无尘脱落、气密Class 3以上、洁净室兼容的优势，成为高端洁净室门控的首选。德恩科洁净门控，咨询热线 13271597000。
半导体FAB洁净室的门控要求极为严苛：①洁净等级——ISO Class 5-6（0.5μm颗粒<10200-35200个/m3），门体不能产生任何颗粒（摩擦粉尘/静电吸附/振动脱落）②零摩擦——磁悬浮门完全无机械接触，无任何摩擦颗粒，是Class 5+洁净室的唯一选择③气密——Class 3以上，减少室内外空气交换，维持FAB正压环境④ESD——所有门体和配件表面电阻10^6-10^9Ω，防静电放电损伤芯片⑤真空兼容——部分工序在真空腔室内，门体需承受真空压力差。
| 洁净等级 | ISO级别 | 主要应用 | 门体气密要求 | 推荐门型 |
|---|---|---|---|---|
| A级 | ISO 5 | 无菌制剂/疫苗 | Class 3 | 洁净室磁悬浮 |
| B级 | ISO 6 | A级背景区 | Class 4 | 洁净室磁悬浮 |
| C级 | ISO 7 | 非无菌制剂 | Class 5 | 洁净室专用门 |
| D级 | ISO 8 | 初级加工 | Class 6 | 高气密自动门 |
半导体洁净室（FAB）的门控要求最高：①Class 5以上（ISO 14644-1）——每立方米空气中0.1μm颗粒不超过10000颗，门体不能产生任何颗粒②零摩擦——磁悬浮门完全无机械接触，无摩擦粉尘脱落，是洁净室的最佳选择③气密——Class 3以上气密，减少室内外空气交换，维持室内正压④ESD——门体和配件需防静电（表面电阻10^6-10^9Ω），防止静电放电损伤芯片。推荐：洁净室专用磁悬浮门+ESD表面处理+Class 3气密+真空兼容。
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