半导体洁净等级
| 等级 | 粒径 | 浓度 | 门型 |
|---|---|---|---|
| Class1 | 0.1um | 1粒/m3 | 超净气密门 |
| Class10 | 0.1um | 10粒/m3 | 超净气密门 |
| Class100 | 0.2um | 100粒/m3 | HEPA气密门 |
| Class1000 | 0.3um | 1000粒/m3 | 气密门 |
黄光区要求
黄光区(光刻区)：使用黄色滤光片隔绝紫外光，门窗使用黄色聚酯薄膜，人员进入需经风淋+换鞋。
2026-05-15
destoon | 等级 | 粒径 | 浓度 | 门型 |
|---|---|---|---|
| Class1 | 0.1um | 1粒/m3 | 超净气密门 |
| Class10 | 0.1um | 10粒/m3 | 超净气密门 |
| Class100 | 0.2um | 100粒/m3 | HEPA气密门 |
| Class1000 | 0.3um | 1000粒/m3 | 气密门 |
黄光区(光刻区)：使用黄色滤光片隔绝紫外光，门窗使用黄色聚酯薄膜，人员进入需经风淋+换鞋。