自动门在超纯水车间的应用_洁净度和TOC控制的配套方案

核心提示：超纯水指标指标要求检测方法电阻率>18.2MΩ·cm在线电导率计TOC在线TOC分析仪微粒/0.05um在线粒子计数器溶解氧在线DO计车间配置1.超纯水管道经过区域用自动门分区隔离；2.取样口自动开关门（防污染）；3.水系统故障→自动闭门→隔离受污染区域。