ISO洁净等级对照
| ISO级 | 粒子/m3 | 典型应用 | 门型 |
|---|---|---|---|
| ISO1 | 10 | 航天/纳米 | ULPA+气密 |
| ISO3 | 1000 | 半导体 | HEPA+气密 |
| ISO5/Class100 | 3520 | 芯片封装 | 自净+气密 |
| ISO7/Class10000 | 352000 | 精密装配 | 中效+气密 |
| ISO9 | 35200000 | 普通办公室 | 普通自动门 |
| ISO级 | 粒子/m3 | 典型应用 | 门型 |
|---|---|---|---|
| ISO1 | 10 | 航天/纳米 | ULPA+气密 |
| ISO3 | 1000 | 半导体 | HEPA+气密 |
| ISO5/Class100 | 3520 | 芯片封装 | 自净+气密 |
| ISO7/Class10000 | 352000 | 精密装配 | 中效+气密 |
| ISO9 | 35200000 | 普通办公室 | 普通自动门 |